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一文带你读懂EBSD分析

kaikai 2024-7-26 11:18:13
电子背散射衍射(EBSD)技术是一种先进的显微分析技术,起源于20世纪50年代,技术成熟于80年代。作为扫描电子显微镜(SEM)的一个重要附件,EBSD极大地扩展了微观分析的能力。本文将探讨EBSD技术的基本原理、系统组成、应用领域以及样品制备方法。


一、EBSD技术的基本原理

EBSD技术利用电子束与样品相互作用产生的背散射电子信号,通过分析这些信号来获取晶体的结晶学信息。EBSD系统能够将显微构造与晶格结构直接联系起来,提供晶体颗粒的定向和基本几何属性参数。金鉴作为国内领先的光电半导体检测实验室,金鉴实验室的EBSD技术,以其高效的速度和精准的分辨率,在材料表征领域中展现出卓越的性能,为材料科学研究提供了强有力的工具。

二、EBSD系统的组成

1. 背散射探测器:用于捕捉样品中激发出的背散射电子信号。


2. 高灵敏度CCD数字照相机:捕捉电子背散射图案(Kikuchi patterns)。


3. 图像采集卡:将图像信号传输到计算机系统。


4. 计算机分析软件及数据库:自动识别和标定采集的图像,并与标准数据库比对,获取晶体颗粒的结晶学信息。

三、EBSD技术的应用

1. 材料科学:EBSD已成为材料显微组构、构造标定和研究的常规手段。


2. 地质学:在岩石超微构造分析中,EBSD技术能够快速获取大量数据,分析极细粒物质的定向组构。


3. 冶金学:用于研究金属矿物和不透明矿物的结晶学组构。


4. 考古学:在文物材料的显微结构分析中也有应用。

四、在岩石显微构造研究中的应用

1. 快速数据获取:EBSD技术使得研究极细粒物质(微米-纳米级)的定向组构成为可能。


2. 结晶学组构分析:简化了二轴晶矿物(如角闪石)和等轴晶系均质体矿物(如石榴子石)的结晶学组构分析。


3. 矿物塑性变形机制研究:通过EBSD可以研究矿物的塑性变形机制。


4. 矿物相鉴定与相变研究:EBSD技术有助于矿物相的鉴定和相变过程的研究。


5. 晶粒尺寸测量与应变估算:EBSD可用于测量晶粒尺寸和估算超微域内的应变。


6. 矿物晶格优选方位与地震波各向异性关系研究:EBSD技术有助于研究矿物晶格优选方位与地震波各向异性的关系。

五、EBSD样品制备

1. 机械抛光:最常用的样品制备方法,目的是去除样品表面的变形层,使背散射电子信号能有效地反映晶体内部结构特征。


2. 磨制阶段:使用较细的金刚砂磨制薄片。


3. 抛光阶段:依次使用不同粒度的金刚石溶液、氧化铝和硅胶/氧化铝抛光液进行抛光。


4. 喷碳或镀金:对于不导电的非金属样品,需要在样品表面喷碳或镀金,以便于观察和获取更好的信号。

总结

EBSD技术在材料科学、地质学等领域的应用已经非常成熟,其在岩石显微构造分析中的潜力巨大。随着技术的不断发展,EBSD技术必将在岩石变形机制与岩石圈流变学研究中发挥更大的作用,推动相关领域的研究取得新的突破。




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