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FIB 技术(Focused Ion Beam)的核心应用

金鉴实验室 楼主 昨天 11:33
在芯片微观加工与分析领域,FIB(Focused Ion Beam,聚焦离子束)作为一种前沿的微观加工与分析技术,近年来在众多领域得到了广泛应用。金鉴实验室作为专注于光电半导体检测领域的科研检测机构,凭借其专业的检测技术和服务,成为了众多企业在半导体检测领域的首选合作伙伴,拥有先进的FIB设备和专业的技术团队,能够为客户提供精确的微观加工与分析服务。



要深入了解 FIB 聚焦离子束,首先要从其工作原理入手,进而明晰其在芯片制造、检测等多个环节中发挥的关键作用。金鉴实验室配备多台专业的设备可为材料的深入研究提供了强有力的支持,如需进行专业的检测,可联系金鉴检测顾问188-1409-6302。
FIB 的工作原理

FIB 是将液态金属离子源(以镓Ga作为离子源材料较为普遍)产生的离子束经过加速,以极高的精度聚焦到样品表面;通过控制电场和磁场,可以使离子束在样品表面上精准移动,产生二次电子信号获取电子像,或用强电流离子束对表面原子进行剥离,以完成微、纳米级表面形貌加工。
FIB的应用

在半导体制造行业,FIB 是故障分析、电路修改和封测优化的重要工具。金鉴实验室在FIB测试方面具有丰富的经验,实验室拥有一支由国家级人才工程入选者和资深技术专家组成的团队,能够针对不同的材料提供具体的解决方案。1. 截面分析FIB 能对芯片进行截面切割和高分辨率成像,以纳米级的精度确认内部的失效区域。结合能谱分析(EDS)或二次离子质谱(SIMS)等,还可分析失效区域的元素组成和分布,确定失效机理,为改进设计和制造工艺提供关键信息,缩短产品研发周期,降低研发成本。

2. 芯片的电路编辑与缺陷修复FIB 能对纳米级线路缺陷进行修复,离子束诱导沉积技术在特定位置沉积金属或绝缘材料,填补电路缺口、修复断路。

3. 封装结构检测与优化在芯片封装阶段,通过对封装后的芯片进行截面切割,利用二次电子成像观察封装层与芯片的界面结合情况,检测是否存在空洞、裂纹等缺陷,为优化封装工艺提供依据。金鉴实验室在进行试验时,严格遵循相关标准操作,确保每一个测试环节都精准无误地符合标准要求。

4. 透射电子显微镜(TEM)样品制备在材料分析领域,FIB 技术还被广泛应用于透射电子显微镜(TEM)样品的制备。传统的 TEM 样品制备方法往往需要大量的时间和经验,且对操作人员的技能要求较高。而 FIB 技术可以精确地从样品中制备出厚度仅为几十纳米的超薄样品,大大降低了对人员经验的依赖,提高了样品制备的效率和质量。通过金鉴实验室FIB制备的 TEM 样品能够提供更清晰、更准确的微观结构信息,为材料的微观分析提供了更有力的工具。



聚焦离子束技术(FIB)作为一种强大的微观加工与分析工具,在微电子、材料科学、生物医学等多个领域展现出了广泛的应用前景。其独特的原理和多功能性使其能够在故障分析、电路修改和封测优化等方面发挥重要作用。

金鉴实验室的专业服务不仅限于测试和认证,还包括失效分析、技术咨询和人才培养,为客户提供一站式的解决方案,金鉴将继续秉承着专业的服务态度,不断提升自身的技术水平和服务质量。


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