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EBSD设备介绍： EBSD一般指电子背散射衍射。电子背散射衍射，简称EBSD，主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射。 (EBSD)电子背散射衍射测试一种通过探测电子背散射衍射花样来确定晶体特征信息的仪器，一般与扫描电镜等大型仪器设备使用（EBSD是扫描电镜SEM的附件之一），是一种揭示晶体材料微观结构的十分有效方法。 （EBSD）电子背散射衍射的基本原理： l (EBSD)电子背散射衍射技术是基于扫描电镜中电子束在倾斜样品表面激发出并形成的衍射菊池带的分析从而确定晶体结构、取向及相关信息的方法。 l 入射电子束进入样品，由于非弹性散射，在入射点附近发散，在表层几十纳米范围内称为一个点源。由于其能量损失很少，电子的波长可认为基本不变。这些电子在反向出射时与晶体产生布拉格衍射，称为电子背散射衍射。 （EBSD）电子背散射衍射扫描方式： 1、电子束扫描电子束移动，样品台不动操作简单，速度快。大范围扫描时时会由于几何关系导致角度误差2、样品台扫描电子束移动，样品台不动可以大面积扫描速度慢，步长1微米以上（EBSD）电子背散射衍射制样： 1、试样的切割、尺寸及形状 2、试样预磨 3、机械抛光 4、化学抛光 5、电解抛光
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