|
金鉴实验室结合了场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）出色的成像和分析性能，和新一代聚焦离子束（FIB）优秀的加工性能。因此，它可以实现诸如成像和分析、三维重构、样品制备和纳米图形化加工等一系列应用。
使用新型的Ion-sculptor FIB 镜筒，您可以最大限度地提高样品质量、降低样品损伤，同时实验操作过程也大大加快。您还可以通过订制仪器，实现高质量和高通量的TEM样品的制备。
▲自动制备的TEM样品阵列
轻松制备TEM样品如果使用Ion-sculptor FIB的低电压功能制备TEM样品，可以在获得超薄样品的同时将非晶化损伤降到最低。得益于前两步制备步骤的自动化，现在使用蔡司Crossbeam系列制备TEM样品将会比之前更加容易。
TEM样品制备流程
1. 自动定位——感兴趣的区域（ROI）轻松导航
✔可以不费功夫地找到感兴趣的区域（ROI） ✔使用样品交换室的导航相机对样品进行定位 ✔集成的用户界面使得您可以轻松定位到ROI ✔在SEM上获得宽视野、无畸变的图像
2. 自动制样——从体材料开始制备薄片样品
✔可以通过简单的三个步骤制备样品：ASP（自动样品制备） ✔定义参数包括漂移修正，表面沉积以及粗切、精细切割 ✔FIB镜筒的离子光学系统保证了工作流程具有极高的通量 ✔将参数导出为副本，进而可以重复操作实现批量制备
3. 轻松转移——样品切割、转移机械化
✔导入机械手，将薄片样品焊接在机械手的针尖上 ✔将薄片样品与样品基体连接部分进行切割，使其分离 ✔薄片随后会被提取并转移到TEM栅网上
4. 样品减薄——获取高质量TEM样品至关重要的一步
✔仪器在设计上允许用户实时监控样品厚度，并最终达到所需求的目标厚度
✔可以同时通过收集两个探测器的信号判断薄片厚度，一方面可以通过SE探测器以高重复性获取最终厚度，另一方面可以通过Inlens SE 探测器控制表面质量
| 
