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金鉴李工:氩离子抛光应用实例

kaikai 2023-12-26 10:27:10

金鉴提供页岩样品氩离子抛光、切割服务(离子抛光法CP)+高分辨率场发射扫描电镜SEM观察。金鉴实验室氩离子抛光(CP法抛光)制样,可以获得平滑的截面,而不会对样品造成机械损害。以下为案例展示。


平面刻蚀抛光功能

左图为离子研磨前,右图为研磨后,通过离子研磨可以去除机械研磨抛光对样品产生的应力损伤,从右图中可以清楚看到两种不同铜的结构


平面刻蚀抛光功能

通过控制平面研磨时间,可以获得更多样品的细节信息


Package FA

Results of experiment


SEM Parameter:

Accelerating Voltage: 1KV Magnification: 600X Imaging Mode: back-scattered electron



Package:FA ,Cooling Stage


SEM Parameter:

Accelerating Voltage: 1KV Magnification: 2,500X Imaging Mode: back-scattered electron



Package:FA ,Cooling Stage

SEM Parameter:

Accelerating Voltage: 1KV Magnification: 5,000X Imaging Mode: back-scattered electron


Package:FA ,Cooling Stage

SEM Parameter:

Accelerating Voltage: 1KV Magnification: 10,000X Imaging Mode: back-scattered electron


Package:FA;Cooling Stage


PCB Board:Cooling Stage


Die package application

      


Results


High Mag


PCB with OSP layer

  

Low Mag

PCB with OSP layer

High Mag


TSV


Central TSV


Center TSV near middle of length


Low K Material


分立器件


High Mag


High Mag


Cu wire with Pdcoating


2.5D Interposer

GatanResults Polished Width at ROI ~ 1000um  


High Mag


BSE Image “Left Via”



         SE Image Region 9                BSE Image Region #9


BSE Image Region #10

BSE Image “Right Via”


金属镀层

镀锌钢板


镀锌钢板-High Mag


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