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背散射电子衍射装置(EBSD)：是扫描电子显微镜(SEM)的附件之一，它能提供如晶间取向、晶界类型、再结晶晶粒、微织构、相辨别和晶粒尺寸测量等完整的分析数据。EBSD数据来自样品表面下10-50nm厚的区域，且EBSD样品检测时需要倾转70°，为避免表面高处区域遮挡低处的信号，所以要求EBSD样品表面“新鲜”、清洁、平整、良好的导电性、无应力等要求。 EBSD的具体分析功能:一种物相鉴定的新方法；标准的微区织构分析方法；具有大样品区域统计的特点；与能谱结合，可集成分析显微形貌、成分和取向。 应用实例 (1)物相鉴定和区分： 图1：高温钢含有第二相粒子，需要准确的识别物相：未知粒子的二次电子像，EBSD花样和EDS用于物相鉴定，根据EBSD花样和其解确定颗粒为具有六方结构的AI
从图1所示的同一区域收集的EBSD面分布数据： （a）EBSD相分布图显示所有相都准确的识别，红色显示基体为铁素体，蓝色为Cr15.8Fe7.42C6,黄色为AIN；（b）基体铁素体EBSD花样；（c）标定为Cr15.8Fe7.42C6的EBSD花样；（d）AlN颗粒的EBSD花样 (2)表征晶粒尺寸和晶界： 单相钢样品的EBSD数据：随机颜色显示晶粒分布图，10°作为临界晶界角度，晶粒内不少于100个像素点，统计共1378个晶粒，平均晶粒尺寸在25.μm。
喷丸处理的铝合金截面的晶粒取向散布图（GOS）： （a）GOS面分布图；（b）对应的取向差角度分布直方图
利用EBSD技术测定了钢样品中的晶界：样品中包含铁素体相（白色）和奥氏体相（红色）；2°-10°的小角度晶界用绿色表示；高于10°的大角晶界用黑色表示，显示了铁素体中单个晶粒结构和亚结。构。 利用EBSD技术测钢样品的CSL晶界数据： a）样品的花样质量衬度图；b）重合位置点阵（CSL）晶界与花样质量衬度叠加图 （3）织构分析： 铅黄铜样品包含三个相，铅（红色）、黄铜（黄色）和β黄铜（蓝色），所有相的IPF-Z分布图显示，β黄铜大多呈现绿色，说明β黄铜具有择优取向，即其110方向近似平行于样品的Z轴方向。
β黄铜的织构图，颜色标尺显示了数据取向与平行于Z方向的理想取向之间的偏差
Β黄铜相的极图，数据的密集分布说明具有很强的平行于Z轴的丝织构
（4）三维EBSD： 铜样品的3D EBSD分析： （a）重建和处理过的三维取向图；（b）在X、Y和Z平面的截面；（c）突出显示选取的晶粒
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