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EBSD技术可以通过研究晶粒取向关系、晶界类型、再结晶晶粒、微织构等，反应材料在凝固、形变、相变、失效破坏等过程中晶粒是如何形成长大及晶粒间的取向转换等。这些研究结果可以作为技术人员提高材料性能的理论依据。EBSD技术广泛应用于金属、陶瓷、地质矿物等领域。 但是，EBSD样品制备非常重要，它直接影响到实验数据的准确性和可靠性。目前比较常用的EBSD制样方法有机械抛光、电解抛光、聚焦离子束（FIB）等。其中，机械抛光虽然常用，但其硬度较大，仍会划伤表面，不适合硬度较小的材料。同时，机械抛光会产生形变应力和表面形变层，而对于多相材料来说，侵蚀速度的不同会造成材料表面凹凸不平，并且侵蚀一定程度上会加快晶界处的腐蚀速度，降低EBSD的标定率。此外，机械抛光需要用水冲洗，容易造成材料氧化，不适用于易氧化的材料。 相比之下，聚焦离子束制备EBSD样品虽然能够进行精确逐层切割，但是由于镓离子较重，轰击到样品上容易产生较厚的非晶层，尤其对易于相变的材料，镓离子轰击容易产生第二相，使实验数据产生偏差。此外，FIB测试区域非常小，耗时非常长，且价格昂贵，不利于观察。 氩离子抛光是一种制备EBSD样品的新方法。它利用高电流密度的氩离子束对样品进行轰击，产生的应力层、非晶层非常薄，可以避免由于制样方法对实验数据产生的误导。同时，由于晶格畸变较小，可以提高EBSD的标定率，降低标定参数，从而有效提高标定效率，节约时间。因此，氩离子抛光可以作为制备EBSD样品的一种重要方法。 以下是采用金鉴Gatan 685切割仪制备的EBSD样品案例来对此进行证明。 案例1 多层结构的半导体材质 步骤1：将样品表面磨抛平整，采用9um金刚石砂纸。 步骤2：Gatan 685对样品表面进行切割，电压7kv，切割时间的长短根据样品观察面的大小。 结果： * 每层都能清晰的观察到 * 焊球的结构清晰可见 * 菊池花样表明制备出的样品表面质量高 不同区域的菊池花样 案例2 铜合金 步骤1：将样品表面磨抛平整，采用9um金刚石砂纸。 步骤2：Gatan 685对样品表面进行切割，电压7kv，切割时间根据样品观察面的大小。 结果： 晶粒取向分布图和称度图像 菊池花样 铜合金的晶粒结构
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