EBSD技术是一种新兴的材料研究方法，商业化应用时间不超过20年。信息技术的飞速发展，也推动了EBSD技术的迅速进步和成熟。
晶粒取向
为什么越来越多的研究人员偏爱使用电子背散射衍射（EBSD）这种分析方法呢？ 原因在于它是一种强大且高度专业化的技术，它基于扫描电子显微镜（SEM）进行工作，能够对材料的微观组织进行深入的分析、可视化和定量。 与光学显微镜相比，EBSD可以观察和分析更多类型的组织结构。当放大倍数超过一千倍时，光学显微镜就无法清晰地显示细小晶粒、针状、板条状或准多边形等不规则组织结构，而EBSD能够满足这种分析需求。
晶界特征
电子背散射衍射（EBSD）具备多种功能，类似于X射线衍射（XRD）。它可以进行相分析、织构测定和应力分布测定，并提供了具体晶粒的取向信息，具有很强的可视性。 此外，EBSD还拥有一些类似于透射电子显微镜（TEM）的功能。例如，它能够观察位错分布并进行相识别等操作。
KAM（应力分布）
除此之外，EBSD还具备一些独有的功能，如再结晶分析、取向差分析、重位点整合分析、晶粒椭圆度分析以及不同相之间的取向关系分析等等。 综合来看，EBSD拥有非常强大的分析功能，它不仅能够提供关于材料微观结构的详细信息，还具有高分辨率、高取向精度和快速数据采集等优势。随着仪器设备的不断发展和完善，EBSD技术将在材料科学研究领域发挥越来越重要的作用，未来将会得到更加广泛的应用。
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