|
电子背散射衍射（EBSD）提供的基本信息相对简单：每个分析点的物相识别和确认、每个分析点晶格的3D取向，EBSD技术以这两个主要信息为基础，可以额外提供许多微观组织的测量信息，如下所示。EBSD技术的性能取决于多种因素，包括：样品制备、扫描电子显微镜、电子束参数、EBSD探测器和软件，以及样品本身。虽然如此，下表还是给出了EBSD技术的数据和性能的一般指标：
参数 | 性能 | | 25-200 nm（常规块样EBSD 2-20 nm（TKD） | | 0.1-0.5°（基于霍夫变换的标定）0.001-0.01°（高分辨EBSD） | | | | |
EBSD提供微观组织信息 大多数EBSD分析是完全自动化的，其中相和取向数据，可以从样品表面由点组成的栅格区域中快速采集。然后利用这些数据，以相分布图或取向分布图的形式，重构微观组织，并从这些数据中提取进一步的信息。金鉴作为国内领先的光电半导体检测实验室，金鉴实验室的EBSD技术，以其高效的速度和精准的分辨率，在材料表征领域中展现出卓越的性能，为材料科学研究提供了强有力的工具。
相 EBSD经常用于绘制样品中相的分布并测量相的面积分数。区分不同的相，可以仅基于晶体学上的差异，也可能包含化学信息（来自能谱仪，EDS）。典型的输出是相分布图，以及各个相对应的面积百分比，如下面的变形火成岩实例所示。EBSD还可以和EDS联用，来帮助鉴定样品中的未知物相（例如析出相）。这种“相鉴定”方法十分快捷，但是要求配备适合的物相数据库，因此就其本身而言，并不是真正的物相鉴定。
织构 晶体取向数据是EBSD技术最基本的输出数据，因此，它是测量织构（也称为晶体择优取向）的理想技术。EBSD速度快，并且同时提供空间分辨的信息，因此我们能确定织构在样品中的变化，这使得EBSD技术相比于其他织构分析手段，如XRD或中子衍射更具有优势。但是，EBSD只能提供样品表面的织构测量，除非结合原位切片分析的方法。织构测量是一系列样品类型的典型分析方法，尤其是在金属加工行业和地质科学（在地质科学中晶体择优取向（CPO）用于推断特定滑移系的启动）。下面的实例展示的是，用极图表示的增材制造Ti64合金中α-Ti织构。
晶粒 EBSD取向面分布图提供了晶体学取向的空间分辨信息，从中可以推导出严格的晶粒尺寸和形状。这些信息包括：晶粒大小、晶粒形状/形貌、晶粒平均取向、晶粒内部取向变化、孪晶比例。所有这些信息都可以绘图成面分布图，如下图所示，或者用于严格的统计数据分析。基于EBSD数据的晶粒分析，有广泛的应用：从金属和合金加工的质量控制到纳米尺度表面涂层的晶粒结构。最新的EBSD后处理软件，能重构出位移型相变前的高温相的晶粒结构（例如马氏体钢中的原奥氏体晶粒）。
晶界 从EBSD的取向测量结果，还可以推导出样品晶界的详细晶体学信息。这使得EBSD技术比其他技术更有优势，因为它提供了有关晶界本质的完整信息和完美的统计信息。从EBSD面分布图推导出有关晶界的信息包括：晶界取向差信息、晶界旋转轴、晶界迹线（晶界面完整取向可以使用3D-EBSD测量）、特殊晶界识别（例如：孪晶或重合位置点阵晶界）、完整晶界长度统计。以下实例图像来自于形变和热处理后的Al-Mg合金。反极图显示了低角晶界（2° ~5°）的旋转轴，明显的偏聚于<111>轴。图中红色标注了取向差大于2°，且旋转轴和<111>方向相差在5°之内的晶界。这种晶体学和空间信息的结合，凸显了一个事实，即：这种特殊的小角晶界，优先在视场最下面的晶粒中形成，可能是受到初始取向的控制。
应变
很多EBSD分析是为了表征和定量样品中的应变。虽然可以通过高分辨EBSD（HR-EBSD）分析测量弹性应变，但是EBSD更常用来表征塑性应变。这可以通过多种方式来实现：局部晶格取向梯度（例如：KAM测量）、几何必需位错（GND）密度、晶内取向偏差、晶内取向散布、小角晶界分布。 利用EBSD研究形变和应变，在很多不同的应用领域都很常见，但对研究失效和裂纹扩展尤其有效。作为一个实例，下图展示了双相钢样品中裂纹尖端的塑性变形。
| 
