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氩离子抛光仪/CP离子研磨截面抛光仪

kaikai 2024-8-2 14:16:18
设备型号
型号:Fisschione1051
[color=rgba(0, 0, 0, 0.9)]
左图:Gatan685   右图:Fischione1061

技术指标与配置:
  • 功能:具备平面大面积离子抛光、横截面离子抛光及高精度离子束镀膜,全面解决高端场 发射电镜所有制样需求;
  • 离子枪角度:0°到 + 18°,每只离子枪可独立调节;
  • 离子枪束能量:0.1keV~8keV , 可在不同电压下自动优化离子束束流;
  • 最大有效抛光区域面积:平面抛光区域直径约1~1.5mm,横截面约1~2mm(宽)×500μm(深);
  • 最大样品尺寸:直径32mm×高15mm(平面抛光);长宽10mm×10mm  (截面抛光);
  • 冷台部分:带有液氮冷台,以及精确控温系统,一次加注液氮续航能力6-8小时;
  • 耙材装置:同时安装两种靶材,铬靶、碳靶。


优势:
具备样品切割和抛光两项功能;配温控液氮冷却台,去除热效应对样品的损伤,有助于避免抛光过程中产生的热量而导致的样品融化或者结构变化;配碳/铬镀膜,对于同一个样品,可在同一真空环境下完成抛光及镀膜,防止样品氧化,可以用于SEM/FIB导电镀膜样品制作。

原理
氩离子切割制样是利用氩离子束(〜1mm)来切割样品,以获得相比FIB制样(通常十几微米)面积更大的电子显微分析区域。其制样原理是用一个坚固的挡板遮挡住样品的非目标区域,有效的遮蔽了下半部分的离子束,创造出一个侧切割平面,去除样品表面的一层薄膜。

氩离子抛光技术又称CP截面抛光技术,是对样品表面进行抛光,去除损伤层,从而得到高质量样品,用于在SEM,光镜或者扫描探针显微镜上进行成像、EDS、EBSD、CL、EBIC 或其它分析。

针对不同的样品的硬度,设置不同的电压、电流、离子枪的角度、离子束窗口,控制氩离子作用的深度、强度、角度、这样较精准的参数,有利于制备成研究者理想的材料样品,这样的样品不仅表面光滑无损伤,而且还原材料内部的真实结构。

性能
样品粘贴在样品载台上的一个独特的llion+样品挡板上,便于使样品准确的定位。系统筒化操作,使样品可以重复插入样品台。

氩离子抛光与切割/CP截面抛光的优点
机械抛光的缺点


金鉴实验室作为一家提供检测、鉴定、认证和研发服务的第三方检测与分析机构,在氩离子抛光制样方面拥有丰富的经验和卓越的技术实力。实验室配备了先进的测试设备和严格的质量控制流程,能够为客户提供高标准的氩离子抛光制样服务。


相比较下氩离子抛光/CP截面抛光的优点:

1.对由硬材料和软材料组成的复合材料样品,能够很精细地制作软硬接合部的截面, 而使用传统方法制样是很困难的。
2.比FIB方法的抛光面积更大(~1mm以上)。

寄样要求
1. 送样前需要对样品进行预处理:样品预磨抛,样品要磨平,样品的上下表面要平行,样品抛光面至少用4000目砂纸磨平,在显微镜下看起来光滑,不粗糙。

2. 金鉴样品的尺寸要求:

  • 块状样品:以待抛光区域为中心点,样品直径不超过30mm、厚度0~20mm。(超出部分需要磨走)

  • 粉末样品:10g以上。


(注:具体的样品要求可咨询在线业务!)

金鉴抛光样品台简介
1.平面抛光样品台


  



平面抛光的样品尺寸要求:
块状样品:以待抛光区域为中心点,样品直径不超过30mm、厚度0~20mm。(超出部分需要磨走)

2.截面抛光样品台


截面抛光样品尺寸要求:不超过挡板大小即可,但抛光区域大概只有档板中线区域的1mm。

金鉴设备参数
     
案例分析
1.金属结合面
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2.锂电池石墨电极截面观察

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3.锂电池石墨颗粒平面抛

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4.线路板截面抛光

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5.芯片N极截面抛光

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6.支架镀层二焊点截面抛光

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7.支架镀层结构截面抛

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8.页岩抛光

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9.样品抛光后显示出高度孪晶的晶粒

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10.抛光后的锆合金的菊池花样

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11.EBSD欧拉角分布图

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12.IPFZ 面分布

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