半导体、医药板块走低，中微公司跌超16%，科技ETF（515000）午盘收跌3.17% ...

原标题：半导体、医药板块走低，中微公司跌超16%，科技ETF（515000）午盘收跌3.17%溢价频现，60日吸金超亿元
                          10月10日早盘，A股半导体、医药等泛科技板块震荡走低，中微公司、跌超10%跌幅居前，、、等纷纷跟跌，、分别跌1.99%、2.22%。

ETF方面，截至午间收盘，科技ETF(515000)跌3.17%，成交额超3800万元。值得一提的是，科技ETF(515000)早盘频现溢价交易，午盘溢价率达0.09%。资金持续借道ETF布局高成长科技板块，上交所数据显示，近60日以来，科技ETF（515000）获资金净流入达1.03亿元。（截至9月30日）
表示，是目前限制国内晶圆扩产的核心环节，目前国内设备厂商在刻蚀、薄膜沉积等多个环节已经具备了国产替代能力，考虑到海外设备厂商由于零部件短缺交期不断拉长等，上游设备的国产替代有望加速推进。