找回密码
 立即注册
搜索
0赞
赞赏
手机版
扫码打开手机版
把文字装进口袋

扫描电镜工作原理

kaikai 楼主 2024-11-7 10:01:00
电子束与样品相互作用的深入解析



扫描电子显微镜(SEM)是一种先进的仪器,用于观察和分析材料表面的微观结构。金鉴实验室作为业内领先的服务提供商,运用尖端的SEM技术,为科研和工业应用提供专业、精准的表面分析服务。


该设备通过电子枪发射的电子束,经过电磁透镜的聚焦和加速,与样品发生相互作用。这些相互作用包括多种散射过程,导致电子束的方向或能量发生变化,进而产生多种信号,如二次电子、背散射电子等,这些信号能够揭示样品的物理和化学特性。金鉴实验室在这一领域积累了丰富的经验,能够为各类材料提供专业的测试与分析。
电子束轰击固体发生的各种信号及深度

电子与样品的相互作用主要分为弹性散射和非弹性散射。弹性散射使得电子保持能量但改变方向,而非弹性散射则导致电子能量的损失。这些过程共同作用,形成了一个特定的区域,称为相互作用区,其中电子束的能量被样品吸收并转化为可检测的二次辐射。

不同加速电压下,蒙德卡罗(Monte Carlo)电子轨迹模拟图

相互作用区的大小可以通过实验观察或使用蒙特卡洛模拟方法来确定。通常,电子束的能量越高,其穿透深度越大,相互作用区也相应增大。此外,样品的原子序数也会影响电子束的穿透能力,原子序数越大,电子束的散射角度越大,穿透深度越浅。金鉴实验室的专业人员能够根据不同材料的特性,优化测试参数,以获得最佳的测试结果。

同样加速电压下,不用材料,蒙德卡罗(Monte Carlo)电子轨迹模拟图
扫描电镜的工作原理



扫描电子显微镜的工作原理可以通过下图来直观理解。电子枪发射的细小电子束,在加速电压的作用下,经过聚光镜和物镜的聚焦,形成具有特定能量和直径的入射电子束。


在物镜上方的扫描线圈产生的磁场作用下,电子束按照预定的顺序进行扫描。样品与入射电子束的相互作用激发出的信号被不同的检测器收集,从而形成图像。为了方便大家对材料进行深入的失效分析及研究,金鉴实验室具备Dual Beam FIB-SEM业务,包括透射电镜( TEM)样品制备,材料微观截面截取与观察、样品微观刻蚀与沉积以及材料三维成像及分析等。


扫描电子显微精成像原理图

本帖子中包含更多资源

您需要 登录 才可以下载或查看,没有账号?立即注册

x

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 立即登录
返回顶部