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EBSD是一种基于背散射电子衍射图样的结晶学分析系统，其应用范围广泛，可以用于判断材料的质量和可行性。1996年，美国TSL公司开发出TSLOIM系统，该系统的空间分辨率优于0.2μm，比原理类似的ECP系统提高了一个量级。TSLOIM系统可以在0.4秒钟内完成一张衍射图样的自动定标工作。
另外，英国牛津集团显微分析仪器Link-OPAL公司开发的EBSD结晶学分析系统也得到了广泛应用。该系统已经成功运用于Si片上Al连线的取向分析，旨在判断其质量的优劣和可行性。该系统使用CCD探测器和数据处理计算机系统扫描并接收记录块状试样表面的背散射电子衍射花样，并按试样各部分不同的晶体取向分类成像来获得有关晶体结构的信息。此外，EBSD还可以显示晶粒组织、晶界和裂纹等，也可用于测定织构和晶体取向。
通过增加一个可将试样倾动约70度的装置，EBSD可以实现更为全面的晶体学取向成像电子显微术(OIM)。该技术可以在SEM上实现，通过扫描和记录块状试样表面的背散射电子衍射花样，将试样各部分不同的晶体取向分类成像以获得更详细的晶体结构信息。OIM技术可以用于显示晶粒组织、晶界和裂纹等，同时也可用于测定织构和晶体取向。OIM技术的发展前景也非常广阔，有望成为SEM的一个标准附件。
总的来说，EBSD是一种十分重要的结晶学分析系统，其应用范围广泛，可以用于判断材料的质量和可行性。而OIM技术的进一步发展，则可以为我们提供更为详细的晶体结构信息，对于材料科学领域的发展具有十分重要的意义。
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