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什么是EBSD？ 背散射电子衍射仪（EBSD）是扫描电子显微镜（SEM）的附件之一，可提供晶粒取向、晶界类型、再结晶碳化物、显微织构、相鉴别和晶界规格检测等完整的形貌数据。EBSD数据来自样品表面下10-50nm厚的区域，测量时需要将EBSD样品倾斜70°。为防止高表面积阻挡低信号，要求ESD样品表面新鲜、干净、平整、导电性好。
PART ONE EBSD测试主要测量什么？
1、显微组织分析：碳化物规格、均匀性、有无孪晶及孪晶的体积分数、再结晶碳化物和亚晶、晶界特征分析、物相鉴定和物相分布等； 分析思路：主要通过取向分布图分析，不同颜色的碳化物代表不同的取向瓷砖可以做结晶，晶界的形状和大小反映材料变形或再结晶，根据相邻碳化物的倾角确定载流子类型，并使用不同的颜色分离谷粒 谷粒显示下来；
2、取向分析：相邻碳化物取向分析、晶界与相邻孪晶取向分析、孪晶与相邻孪晶取向分析、织构分析、取向差异分析； 分析思路：两个相邻的碳化物可用欧拉角、极图分析等方法分析，大面积碳化物取向可用极图或反极图分析。
PART TOW EBSD测试常见问题
1、EBSD样品有什么要求？ 试样尺寸不超过8X8mm，长度不超过3mm；如果尺寸较大，请提前线切割。EBSD样品表面新鲜、洁净、光滑、导电性好、无挠曲等。
2、制样方法是什么？ 振动抛光、Ar离子截面抛光和电解抛光。
3. EBSD可以标记晶体取向吗？ 是的，还可以表征碳化物结构、晶界尺寸和氢键，但是无法校准样品中碳化物的位置。
4. 哪种抛光更适合制样？ 一般成分单一的样品选择电解抛光；多相样品，那些看边缘的样品，电解配方未知瓷砖可以做结晶，薄样品选择振动抛光；由硬质材料和软质材料组成的复合材料样品需要选择Ar离子截面抛光才能精细制作出软硬结合的截面。
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