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EBSD 电子背散射衍射（EBSD）是一种基于扫描电子显微镜（SEM）的技术，可以对样品的微观组织进行分析、可视化和定量。 虽然这种技术最常见的缩写是EBSD，但有时称为“EBSP”（严格意义上讲，这是指电子背散射衍射花样）或“BKD”（背散射菊池衍射）。 微观组织是在微观尺度上观察材料的内部结构。对微观组织感兴趣，是因为材料的内部特征（或结构）将影响其性能和行为。“微观组织”一词，包括对晶粒的鉴定和表征， 对材料中不同相或化合物的研究，元素的空间分布特征以及晶间和晶内界面性质的分析。
表征微观组织是全面了解材料及其性能的基础。材料加工控制着微观组织的形成，而微观组织反过来又会影响材料的性能。因此，了解材料的微观组织在工业和研究领域中越来越重要；这包括了金属的研究和加工，先进的制造技术，可再生能源和太阳能电池的开发，微电子学和地质研究的发展。
为什么要使用EBSD？
EBSD是SEM的成熟附件，用于表征微观组织。EBSD采集的数据是呈空间分布的，可以用面分布图和图像来显示，从而可以详细检查不同样品的局部特征。EBSD 是一种高度自动化的技术，现代的商业系统能够每秒分析数千个衍射花样：这使得利用高空间分辨率扫描样品表面，采集所有需要的数据，来进行整体的微观组织表征成为可能。
当电子束轰击到样品表面时，EBSD 提供了轰击处样品详细的晶体学性质信息；ESBD通常与能谱仪（EDS）结合使用，可以补充分析测量样品的成分。因此集成了EBSD和EDS的测量系统，提供了更全面的微观组织表征，包括：
相鉴定 相分布 晶粒尺寸数据 晶界表征 织构（晶体择优取向的程度） 局部应变变化 所有这些信息都可以从一个EBSD数据集导出，其空间分辨率可达nm尺度，样品分析区域可覆盖若干mm2。
EBSD是如何工作的？
EBSD工作时，稳定的电子束与倾斜的晶态样品相互作用，产生的衍射电子形成衍射花样，可以用荧光屏检测到。在电子束与样品相互作用的点（或体积）位置上，衍射花样携带了样品的晶体结构和取向的特征。因此衍射花样可以用来确定晶体取向，区分晶体学上的不同相，表征晶界，并提供局部晶格完整性的信息。
当电子束以网格形式在多晶样品上扫描时，可以测量每一点上晶体的取向，得到的面分布图揭示了晶粒的形态，取向和晶界。这些数据也可以用来显示样品中的晶体择优取向（即织构）。因此，EBSD可以很容易地建立一个完整的和定量的微观组织表征。
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